Титановая мишень — расходный катодный материал для вакуумных ионно-плазменных установок, магнетронного и электронно-лучевого напыления. Изделие изготавливают из технически чистого титана или его сплавов, что обеспечивает стабильный распыл и формирование плотных функциональных покрытий. в Брест поставляются дисковые мишени диаметром от 80 до 600 мм с нормированным химическим составом и контролируемой структурой.
Основные марки — ВТ1-0, ВТ1-00, ВТ1-1, а также импортные аналоги Gr1–Gr5. Чистый титан применяют для получения коррозионностойких и биосовместимых слоёв, легированные марки — для упрочняющих и износостойких покрытий. Поставка ведётся по ГОСТ и ASTM F1709; отгрузка со склада в Брест, доставка по Брестской области и всей Беларуси. Телефон для заявок: +375 33 347-76-66, почта brest@sfera-m.by.
Мишени востребованы в микроэлектронике, оптике, инструментальном производстве и медицинской технике. Ключевые параметры — чистота материала, плотность, размер зерна и отсутствие внутренних дефектов, влияющих на стабильность разряда и скорость осаждения.
- Магнетронное напыление тонких плёнок титана и его нитридов.
- Нанесение коррозионностойких и биосовместимых покрытий.
- Электронно-лучевое и ионно-плазменное испарение в вакууме.
- Получение барьерных и контактных слоёв в микроэлектронике.
| Марка | Стандарт | Диаметр, мм | Тип материала |
|---|---|---|---|
| ВТ1-0 | ГОСТ | 80–300 | технически чистый титан |
| ВТ1-00 | ГОСТ | 150–500 | технически чистый титан |
| Gr5 | ASTM F1709 | 300–600 | сплав Ti-6Al-4V |
При подборе учитывают совместимость марки с рабочей атмосферой, требуемую чистоту плёнки и геометрию распыляемой зоны. Для крупноформатных установок применяют мишени диаметром 500–600 мм, для лабораторных — от 80 мм. Отгрузка возможна до Бреста в день поступления оплаты при наличии позиции на складе.
Чем отличаются марки ВТ1-0 и Gr5?
ВТ1-0 — технически чистый титан с низким содержанием примесей, Gr5 — сплав Ti-6Al-4V с повышенной прочностью. Выбор зависит от требуемых свойств покрытия и условий эксплуатации.
Какой стандарт регламентирует поставку?
Поставка ведётся по ГОСТ для марок ВТ1-0, ВТ1-00, ВТ1-1 и по ASTM F1709 для импортных аналогов Gr1–Gr5.
Можно ли заказать мишень нестандартного диаметра?
Базовый ряд включает диаметры 80, 150, 300, 500 и 600 мм. Возможность изготовления под конкретную установку уточняется при оформлении заявки.